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设备用途：单室离子束镀膜设备系统为高真空多功能离子束沉积系统，系统可用于开发纳米级的单层及多层功能膜和复合膜-可镀金属、合金、化合物、半导体、介质复合膜等。广泛应用于大专院校、科研院所进行薄膜材料的科研与小批量制备。设备组成：
